kSA SpectR 光譜反射率測試儀是一種用于測量光譜絕對反射率，L*a*b*成色值和生長速率的非接觸式測量設備。kSA SpectR 光譜反射率測試設備具有多種在線監控和過程控制的應用功能，包括垂直腔表面發射激光器（VCSEL），分布式布拉格反射器（DBR）和其他一些復雜的設備結構。該設備主要應用于監控測量sputtering，MBE和MOCVD等薄膜生產研究。